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반도체 처리

오션옵틱스는 반도체 공정 및 재료 분석, 플라즈마 모니터링, 막 두께 측정을 포함한 박막 계측 분야의 광범위한 범위 계측 제품, 분광기 및 액세서리를 제공합니다. 사용자는 완전히 통합된 계측 시스템 중에서 선택할 수 있습니다. 사용자 정의 설정으로 구성되어있는 모듈식 구성 요소, 대용량 생산을 위해 다른 장치에 통합된 OEM 분광기 및 하위 시스템이 포함됩니다.

 

플라즈마 모니터링

모듈형 분광 요소는 플라즈마 챔버로부터 실시간 플라즈마 방출 스펙트럼을 취득하는 우수한 도구입니다.
이러한 방출 스펙트럼으로부터 결정된 플라즈마 특성은 플라즈마 기반 공정의 모니터링 및 제어에 사용될 수 있다.

 

두께 측정

오션옵틱스는 반도체, 산업, 의료 및 소비자 시장에서의 응용 프로그램에 대한 광학 및 비 광학 박막 두께 특성을 결정하는 두 모듈과 완벽하게 통합된 시스템을 제공합니다.

 

애플리케이션

서울특별시 마포구 백범로 202, 312  Tel : 070.4133.2700  Fax : 0303.0945.2700

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