Ocean Insight(전 Ocean Optics)는 반도체 공정 및 재료 분석, 플라즈마 모니터링, 막 두께 측정을 포함한 박막 계측 분야의 광범위한 범위 계측 제품, 소형분광기 및 액세서리를 제공합니다. 사용자는 완전히 통합된 계측 시스템 중에서 선택할 수 있습니다. 사용자 정의 설정으로 구성되어있는 모듈식 구성 요소, 대용량 생산을 위해 다른 장치에 통합된 OEM 분광기 및 하위 시스템이 포함됩니다.
|
플라즈마 모니터링
모듈형 분광 요소는 플라즈마 챔버로부터 실시간 플라즈마 방출 스펙트럼을 취득하는 우수한 도구입니다. |
|
두께 측정
Ocean Insight는 반도체, 산업, 의료 및 소비자 시장에서의 응용 프로그램에 대한 광학 및 비 광학 박막 두께 특성을 결정하는 두 모듈과 완벽하게 통합된 시스템을 제공합니다. |
반도체 공정의 실시간 모니터링 및 제어를 위한 광방출 분광기를 제공
- 챔버 멸균
- Etching / Deposition
- 광학적 Endpoint 감지
- 플라즈마 Ashing/Cleaning
Semiconductor Process Monitoring을 위한 Optical Sensing의 장점
- Real-time 측정
- Endpoint 감지 등을 위한 유연한 설정
- 프로세스 환경에서 안정적인 성능 제공
